SiC coated wafer carrier

ການຜະລິດຊິບແມ່ນແຍກອອກຈາກ wafers. ໃນຂະບວນການກະກຽມ wafer, ມີສອງເຊື່ອມຕໍ່ຫຼັກ: ຫນຶ່ງແມ່ນການກະກຽມຂອງ substrate, ແລະອີກອັນຫນຶ່ງແມ່ນການປະຕິບັດຂະບວນການ epitaxial. substrate ສາມາດຖືກໃສ່ໂດຍກົງເຂົ້າໃນຂະບວນການຜະລິດ wafer ເພື່ອຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor, ຫຼືປັບປຸງເພີ່ມເຕີມໂດຍຜ່ານຂະບວນການ Epitaxial. 

Epitaxy ແມ່ນການຂະຫຍາຍຕົວຊັ້ນໃຫມ່ຂອງ Crystal Crystal ໃນ STALLE CLEARTRATE ທີ່ໄດ້ຖືກປຸງແຕ່ງຢ່າງລະອຽດ (ການຕັດ, ໂປໂລຍ, ແລະອື່ນໆ). ເນື່ອງຈາກວ່າຊັ້ນຂ້າມໄປເຊຍກັນທີ່ເຕີບໃຫຍ່ໃຫມ່ຈະຂະຫຍາຍໄປຕາມໄລຍະໄປເຊຍຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ມັນຖືກເອີ້ນວ່າເປັນຊັ້ນປະເທດ Epitaxial. ໃນເວລາທີ່ຊັ້ນ apitaxial ເຕີບໃຫຍ່ຢູ່ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ທັງຫມົດເອີ້ນວ່າເຄື່ອງປະດັບຂອງ epaitaxial. ການແນະນໍາກ່ຽວກັບເຕັກໂນໂລຢີເອກະລາດຂອງ Epitaxial Cleverly ແກ້ໄຂຂໍ້ບົກຜ່ອງຫຼາຍຢ່າງຂອງ substrates ດຽວ.

ໃນເຕົາອົບການເຕີບໂຕຂອງ Epitaxial, ຊັ້ນໃຕ້ດິນບໍ່ສາມາດຖືກຈັດໃສ່ແບບສຸ່ມ, ແລະກຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ waferຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ວາງ substrate ໃສ່ຜູ້ຖື wafer ກ່ອນທີ່ຈະຝາກ epitaxial ສາມາດປະຕິບັດໄດ້ກ່ຽວກັບ substrate ໄດ້. ຜູ້ຖື wafer ນີ້ແມ່ນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ເຄືອບ SiC.

ມຸມເບິ່ງຂ້າມສ່ວນຂອງເຕົາປະຕິກອນ EPI

ເປັນຄຸນນະພາບສູງການເຄືອບ SiCຖືກນໍາໃຊ້ກັບພື້ນຜິວຂອງ SGL graphite ໂດຍໃຊ້ເທກໂນໂລຍີ CVD:

ດ້ວຍການຊ່ວຍເຫຼືອຂອງການເຄືອບ SIC, ຫຼາຍຄຸນສົມບັດຂອງຜູ້ຖື wafer sic coatedໄດ້ຮັບການປັບປຸງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ:

●ຄຸນສົມບັດ antioxidant: ການເຄືອບ SiC ມີຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງທີ່ດີແລະສາມາດປົກປ້ອງ graphite matrix ຈາກການຜຸພັງໃນອຸນຫະພູມສູງແລະຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງມັນ.

●  ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ: ຈຸດລະລາຍຂອງການເຄືອບ SiC ແມ່ນສູງຫຼາຍ (ປະມານ 2700 ° C). ຫຼັງຈາກເພີ່ມການເຄືອບ SiC ກັບ graphite matrix, ມັນສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ສູງຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເປັນປະໂຫຍດຕໍ່ການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມ furnace ການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial.

●ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ: Graphite ແມ່ນມັກຈະເປັນການກັດກ່ອນດ້ວຍທາງເຄມີໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ເປັນກົດຫຼືເປັນດ່າງ.

●ໃສ່ຄວາມຕ້ານທານ: ວັດສະດຸ SiC ມີຄວາມແຂງສູງ. ຫຼັງຈາກ graphite ຖືກເຄືອບດ້ວຍ SiC, ມັນບໍ່ຖືກທໍາລາຍໄດ້ງ່າຍເມື່ອໃຊ້ໃນເຕົາເຜົາການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ epitaxial, ຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການສວມໃສ່ຂອງວັດສະດຸ.

ມັນ semiconductorໃຊ້ວັດສະດຸທີ່ດີທີ່ສຸດແລະເຕັກໂນໂລຢີການປຸງແຕ່ງທີ່ກ້າວຫນ້າທີ່ສຸດເພື່ອໃຫ້ລູກຄ້າມີຜະລິດຕະພັນຊັ້ນນໍາຂອງ SiC coated wafer carrier. ທີມງານດ້ານວິຊາການທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງ VeTek Semiconductor ສະເຫມີມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະປັບແຕ່ງຜະລິດຕະພັນທີ່ເຫມາະສົມທີ່ສຸດແລະການແກ້ໄຂລະບົບທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບລູກຄ້າ.

SEM ຂໍ້ມູນຂອງ CVD SIC FILM

ມັນ semiconductorຮ້ານຄ້າຜູ້ຂົນສົ່ງ wafer ເຄືອບ SiC