ຂ່າວອຸດສາຫະກໍາ

ບົດຂຽນວິເຄາະສິ່ງທ້າທາຍສະເພາະທີ່ປະເຊີນຫນ້າກັບການຂະຫຍາຍຕົວ CVD Crystal ແລະຄວບຄຸມການເຄືອບ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານອຸປະກອນແລະການປົກປ້ອງສິ່ງແວດລ້ອມ, ການຄວບຄຸມສິ່ງແວດລ້ອມແລະການຄວບຄຸມ, ເປັນ ເຊັ່ນດຽວກັນກັບວິທີແກ້ໄຂອຸດສາຫະກໍາທີ່ສອດຄ້ອງກັນ.

ຈາກທັດສະນະຂອງໃບສະຫມັກຂອງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ SIC ດ່ຽວ, ບົດຂຽນນີ້ປຽບທຽບການເຄືອບພື້ນຖານແລະການເຄືອບຂອງ TAC ໃນແງ່ຂອງການເຄືອບອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບຂອງ TAC, ຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບທີ່ແຂງແຮງ, ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ໍາ.

ອຸປະກອນວັດແທກຫຼາຍຊະນິດໃນໂຮງງານ Fab. ອຸປະກອນທົ່ວໄປປະກອບມີອຸປະກອນວັດແທກ Lithography, ອຸປະກອນວັດສະດຸດີ, ອຸປະກອນການວັດແທກຮູບເງົາ, ເຄື່ອງວັດແທກ

ການເຄືອບ Tantalum carbide (TaC) ສາມາດຍືດອາຍຸຂອງຊິ້ນສ່ວນ graphite ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໂດຍການປັບປຸງການຕໍ່ຕ້ານອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຄຸນສົມບັດກົນຈັກແລະຄວາມສາມາດໃນການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ. ຄຸນລັກສະນະຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງມັນຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ impurity, ປັບປຸງຄຸນນະພາບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ, ແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບພະລັງງານ. ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor ແລະການນໍາໃຊ້ການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນໃນອຸນຫະພູມສູງ, ສະພາບແວດລ້ອມ corrosive ສູງ.