ຂ່າວອຸດສາຫະກໍາ

ໂດຍຜ່ານຄວາມຄືບຫນ້າດ້ານເຕັກໂນໂລຢີຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະເຕັກໂນໂລຢີດ້ານເຕັກໂນໂລຢີ 3c-sic ແມ່ນການສະແດງທີ່ສໍາຄັນກວ່າໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແລະສົ່ງເສີມການພັດທະນາອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ.

Spatial ALD, ການຖິ້ມຊັ້ນປະລໍາມະນູທີ່ໂດດດ່ຽວຕາມພື້ນທີ່. wafer ເຄື່ອນຍ້າຍລະຫວ່າງຕໍາແຫນ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະຖືກສໍາຜັດກັບຄາຣະວາທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນແຕ່ລະຕໍາແຫນ່ງ. ຕົວເລກຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນການປຽບທຽບລະຫວ່າງ ALD ແບບດັ້ງເດີມແລະ ALD ທີ່ໂດດດ່ຽວຕາມພື້ນທີ່.

ເມື່ອມໍ່ໆມານີ້, ສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາເຢຍລະມັນ Fraunhofer IISB ໄດ້ເຮັດໃຫ້ການຄົ້ນຄວ້າແລະພັດທະນາການແກ້ໄຂເຄືອບ Corbide Corbide ແລະເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມຫຼາຍກວ່າການແກ້ໄຂບັນຫາຂອງ CVD, ແລະໄດ້ຮັບການຄ້າຂາຍ.