EPI Wafer ຜູ້ຖື

ເຄື່ອງປັບລະບົບ Vetek ສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິການຜະລິດຕະພັນທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ສະນັ້ນຜູ້ຖື Wafer Epi ສາມາດໃຫ້ການບໍລິການຜະລິດຕະພັນຕາມທີ່ເຫມາະສົມໂດຍອີງໃສ່ຂະຫນາດຂອງWafer(100mm, 150mm, 200mm, 300mm, 300mm, ແລະອື່ນໆ). ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ຫຼັກການທີ່ເຮັດວຽກແລະຫຼັກການເຮັດວຽກຂອງຜູ້ຖື Wafer Epi

ໃນ realm ຂອງ semiconductor, ຂະບວນການຂອງ Epitaxy ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນສໍາລັບການປະສົມຕົວສູງ semiconductor. ໃນຫົວໃຈຂອງຂະບວນການນີ້ແມ່ນຜູ້ຖື Wafer epi, ເຊິ່ງມີບົດບາດເປັນໃຈກາງໃນການຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະປະສິດທິພາບຂອງການເຕີບໂຕຂອງ Epitaxial.

ຜູ້ຖື Wafer EPI ແມ່ນຖືກອອກແບບຕົ້ນຕໍເພື່ອໃຫ້ມີການເກືອດຫ້າມໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຂອງ Epitaxy. ວຽກທີ່ສໍາຄັນຂອງມັນແມ່ນເພື່ອຮັກສາອຸປະກອນທີ່ຄວບຄຸມດ້ວຍອຸນຫະພູມແລະອາຍແກັສທີ່ຄວບຄຸມຢ່າງຖືກຕ້ອງ - ສະພາບແວດລ້ອມການໄຫຼ. ການຄວບຄຸມຢ່າງລະອຽດນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ອຸປະກອນການ Epitaxial ຈະຖືກຝາກໃສ່ດ້ານ wafer, ເປັນຂັ້ນຕອນທີ່ສໍາຄັນໃນການສ້າງຊຸດເຄື່ອງແບບແລະຊັ້ນສູງ.

ພາຍໃຕ້ລະດັບອຸນຫະພູມສູງ - ອຸນຫະພູມປົກກະຕິຂອງຂະບວນການ Epitaxy, ຜູ້ຖື Wafer Epi Wafer ມີຄວາມໂດດເດັ່ນໃນຫນ້າທີ່ຂອງມັນ. ມັນແກ້ໄຂບັນດາສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ແຫນ້ນໃນຫ້ອງທີ່ມີປະຕິກິລິຍາໃນຂະນະທີ່ຫລີກລ້ຽງຄວາມເສຍຫາຍທີ່ອາດເກີດຂື້ນ, ແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງສ່ວນຕ່າງໆໃນດ້ານ wafer.

ຄຸນສົມບັດດ້ານວັດຖຸ:ເປັນຫຍັງcarbide silicon (sic)ສ່ອງແສງ

ຜູ້ຖື Wafer ມັກຈະຖືກຕັດອອກຈາກຊິລິໂຄນ Carbide (SIC), ເອກະສານທີ່ສະຫນອງການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກສະເພາະຂອງຄຸນລັກສະນະທີ່ເປັນເອກະລັກ. Sic ມີຕົວຄູນຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງປະມານ 4.0 x 10⁻⁶ / ° C. ຄຸນລັກສະນະນີ້ແມ່ນຄວາມສໍາຄັນໃນການຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງມິຕິຂອງຜູ້ຖືໃນອຸນຫະພູມສູງ. ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນ, ມັນສາມາດປ້ອງກັນຄວາມກົດດັນໃນການ wafer ທີ່ສາມາດເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມໄດ້ຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນຈະມີຜົນມາຈາກອຸນຫະພູມ - ທີ່ມີຂະຫນາດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ.

ນອກຈາກນັ້ນ, SIC ມີຄວາມສູງທີ່ສຸດທີ່ດີເລີດ - ສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມອຸນຫະພູມອຸນຫະພູມ. ມັນສາມາດທົນກັບອຸນຫະພູມສູງຕັ້ງແຕ່ 1,200 ° C ເຖິງ 1,600 ° C ທີ່ຕ້ອງການໃນຂະບວນການ Epitaxy. ສົມທົບກັບຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນແລະຄວາມຮ້ອນທີ່ຫນ້າຮັກ (ໂດຍປົກກະຕິລະຫວ່າງ 120 - 160 w / mk), sic) ເປັນທາງເລືອກທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບຜູ້ຖື wafer epitaxial.

ຫນ້າທີ່ສໍາຄັນໃນຂະບວນການ Epitaxial

ຄວາມສໍາຄັນຂອງຜູ້ຖືຂອງ SPI WERFER ໃນຂະບວນການ EPITAXIAL ບໍ່ສາມາດເປັນ overstated. ມັນເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ຫມັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ລະດັບສູງ - ສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສແລະອາຍແກັສທີ່ຍັງບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບໃນລະຫວ່າງການພັດທະນາແບບເອກະສານແລະສົ່ງເສີມການພັດທະນາເອກະພາບຂອງຊັ້ນຈັດຕັ້ງ.

ການແກ້ໄຂ 1.wafer ແລະການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ຊັດເຈນສູງ - ມີຄວາມຫມາຍທີ່ມີຄວາມຫມາຍທີ່ມີຄວາມຫມາຍໃນ epi wafer ວາງຕໍາແຫນ່ງ Wafer ຢູ່ສູນເລຂາຄະນິດຂອງຫ້ອງປະຕິກິລິຍາຂອງຫ້ອງປະຕິກິລິຍາ. ການຮັບປະກັນສະຖານທີ່ນີ້ໃຫ້ພື້ນຜິວ wafer ປະກອບເປັນມຸມຕິດຕໍ່ທີ່ເຫມາະສົມກັບກະແສແກ gas ດປະຕິກິລິຍາ. ການຈັດລຽນທີ່ຊັດເຈນບໍ່ພຽງແຕ່ຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸເງິນຝາກຊັ້ນຊັ້ນທີ່ເປັນເອກະພາບແຕ່ຍັງຊ່ວຍໃຫ້ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງຄວາມຕຶງຄຽດທີ່ເກີດຈາກການບ່ຽງເບນຂອງຕໍາແຫນ່ງທີ່ແປກປະຫຼາດ.

2. 2. ການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຮ້ອນໃນພາກສະຫນາມການປະຕິບັດການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງເອກະສານ SIC, ຜູ້ຖື WEFER EPI ຊ່ວຍໃຫ້ມີຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງຂື້ນໃນລະດັບສູງ - ອຸນຫະພູມ Epitaxial Epitaxial. ພ້ອມດຽວກັນ, ມັນອອກກໍາລັງກາຍຄວບຄຸມການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມທີ່ດີໃນລະບົບການເຮັດຄວາມຮ້ອນຂອງລະບົບຄວາມຮ້ອນ. ກົນໄກຄູ່ນີ້ຮັບປະກັນອຸນຫະພູມທີ່ສອດຄ່ອງກັນທົ່ວຫນ້າດິນທັງຫມົດໄດ້ກໍາຈັດຄວາມຮ້ອນທີ່ເກີດຈາກອຸນຫະພູມຫຼາຍເກີນໄປ. ດ້ວຍເຫດນັ້ນ, ຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງຂໍ້ບົກຜ່ອງຕ່າງໆເຊັ່ນ Wafer Warping ແລະຮອຍແຕກແມ່ນຫຼຸດຜ່ອນຫນ້ອຍທີ່ສຸດ.

3.Particle ຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນແລະຄວາມບໍລິສຸດດ້ານວັດຖຸການນໍາໃຊ້ຂອງຊັ້ນສູງ - ຄວາມບໍລິສຸດຂອງ SICE ແລະ CVD - ວັດສະດຸ Graphite Coated ແມ່ນເກມ - ປ່ຽນໃນການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນຂອງ Particle. ວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ຫຼຸດຜ່ອນການຜະລິດແລະການແຜ່ກະຈາຍຂອງອະນຸພາກໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຂອງ Epitaxy, ໃຫ້ສະພາບແວດລ້ອມ pristine ສໍາລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນ. ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງດ້ານການໂຕ້ຕອບ, ພວກມັນໄດ້ເສີມຂະຫຍາຍຄຸນນະພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຊັ້ນຂອງຊັ້ນ.

ການຕ້ານທານ 4.Corosionໃນລະຫວ່າງການໂມເດວຫຼືຂະບວນການ LPCVD, ຜູ້ຖື WAFY EPI ຕ້ອງທົນກັບທາດອາຍຜິດທີ່ເປັນໂຣກ ammonia ແລະ trimethyl gallium. ຄວາມຕ້ານທານດ້ານການກັດທາງທີ່ຍັງຄ້າງຄາຂອງວັດສະດຸ SIC ຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ຖືມີຊີວິດການບໍລິການທີ່ຂະຫຍາຍ, ເຮັດໃຫ້ການຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການຜະລິດທັງຫມົດ.

ການບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງໂດຍການ semiconductor vetek

ເຄື່ອງປັບລະດັບ vetek ແມ່ນມຸ້ງຫມັ້ນທີ່ຈະປະຊຸມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າທີ່ຫຼາກຫຼາຍ. ພວກເຮົາສະເຫນີການບໍລິການຜູ້ຮັກສາ API WAFER ທີ່ເຫມາະສົມກັບຂະຫນາດທີ່ເກີດຂື້ນໃນຂະຫນາດຕ່າງໆ, ລວມທັງ 100 ມມ, 1500 ມມ, 200 ມມ, 300 ມມ, ແລະຕໍ່ໄປ. ທີມງານຊ່ຽວຊານຂອງພວກເຮົາແມ່ນອຸທິດຕົນເພື່ອສະຫນອງຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ - ໃຫ້ກົງກັບຄວາມຕ້ອງການຂອງທ່ານຢ່າງຊັດເຈນ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ຍາວນານຂອງທ່ານ - ໃນປະເທດຈີນ, ໃຫ້ທ່ານມີທາງເທີງ - notch semiconductor.

ຂໍ້ມູນ SEM ຂອງໂຄງສ້າງ CVD SIC:

ຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບຂັ້ນພື້ນຖານຂອງ CVD SIC CATING：

ຮ້ານຂາຍເຄື່ອງສໍາອາງ Semiconductor epi Wafer ຜູ້ຖືການຜະລິດ: