ຂ່າວ

ມັນເຫມາະສົມທີ່ຈະສ້າງວົງຈອນປະສົມປະສານຫຼືອຸປະກອນ semiconductor ໃນຊັ້ນພື້ນຖານ crystalline ທີ່ສົມບູນແບບ. ຂະບວນການ epitaxy (epi) ໃນການຜະລິດ semiconductor ມີຈຸດປະສົງທີ່ຈະຝາກຊັ້ນ crystalline ດຽວອັນດີ, ປົກກະຕິແລ້ວປະມານ 0.5 ຫາ 20 microns, ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນ crystalline ດຽວ. ຂະບວນການ epitaxy ເປັນຂັ້ນຕອນທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດ silicon wafer.

ຄວາມແຕກຕ່າງຕົ້ນຕໍລະຫວ່າງການຝາກເງິນຊັ້ນຂອງ Epitaxy ແລະປະລໍາມະນູ (Ald) ແມ່ນຢູ່ໃນກົນໄກການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງຮູບເງົາຂອງພວກເຂົາແລະສະພາບການເຮັດວຽກ. Epitaxy ຫມາຍເຖິງຂັ້ນຕອນການຂະຫຍາຍຮູບເງົາບາງໆຂອງຜລຶກໃນຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ມີຄວາມສໍາພັນດ້ານການຮັກສາສະເພາະ, ຮັກສາໂຄງສ້າງຂອງຜລຶກດຽວກັນຫຼືຄ້າຍຄືກັນ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ALD ແມ່ນເຕັກນິກການຝາກເງິນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການເປີດເຜີຍບັນດາຊັ້ນໃຕ້ຂອງສານເຄມີທີ່ແຕກຕ່າງກັນເພື່ອປະກອບເປັນຮູບເງົາບາງໆໃນຊ່ວງເວລານັ້ນ.

ການເຄືອບ CVD TAC ແມ່ນຂະບວນການສໍາລັບການເຄືອບທີ່ຫນາແລະທົນທານຕໍ່ການເຄືອບທີ່ຫນາແຫນ້ນແລະທົນທານຕໍ່ substrate (graphite). ວິທີການນີ້ກ່ຽວຂ້ອງກັບການນໍາໃຊ້ tac ໃສ່ຫນ້າດິນຍ່ອຍໃນອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງໄດ້ຮັບການເຄືອບດ້ວຍຄວາມທົນທານຂອງ tantalum (tac).